Структура п'езарэзістыўнага датчыка

У гэтым датчыку паласа рэзістара інтэграваная ў дыяфрагму з монакрышталічнага крэмнію з дапамогай працэсу інтэграцыі, каб зрабіць крэмніевы п'езарэзістыўны чып, а перыферыя гэтага чыпа фіксавана запакаваная ў абалонку, а провады электродаў выведзены вонкі. П'езарэзістыўны датчык ціску, таксама вядомы як цвёрдацельны датчык ціску, адрозніваецца ад клейкага тензодатчика, які павінен адчуваць знешнюю сілу ўскосна праз пругкія адчувальныя элементы, але непасрэдна адчувае вымераны ціск праз крамянёвую дыяфрагму.

Адзін бок крамянёвай дыяфрагмы ўяўляе сабой паражніну высокага ціску, якая злучаецца з вымяраным ціскам, а другі бок - паражніну нізкага ціску, якая злучаецца з атмасферай. Як правіла, крамянёвая дыяфрагма распрацавана ў выглядзе круга з фіксаванай перыферыяй, а стаўленне дыяметра да таўшчыні складае каля 20 ~ 60. Чатыры палоскі ўстойлівасці да прымешак Р распаўсюджваюцца лакальна на круглай крамянёвай дыяфрагме і злучаюцца ў поўны мост, дзве з якіх знаходзяцца ў зоне напружання сціску, а дзве іншыя - у зоне напружання расцяжэння, якія сіметрычныя адносна цэнтра дыяфрагмы.

Акрамя таго, ёсць таксама квадратная крамянёвая дыяфрагма і крэмніевы датчык калонкі. Крамянёвы цыліндрычны датчык таксама зроблены з рэзістыўных палос шляхам дыфузіі ў пэўным кірунку крышталічнай плоскасці крамянёвага цыліндру, і дзве рэзістыўныя палоскі расцяжэння і дзве рэзістыўныя палоскі сціску ўтвараюць поўны мост.

П'езарэзістыўны датчык - гэта прылада, вырабленая шляхам дыфузійнага супраціву на падкладцы з паўправадніковага матэрыялу ў адпаведнасці з п'езарэзістыўным эфектам паўправадніковага матэрыялу. Яго падкладку можна непасрэдна выкарыстоўваць у якасці вымяральнага датчыка, а супраціўленне дыфузіі злучана ў падкладцы ў выглядзе моста.

Калі падкладка дэфармуецца знешняй сілай, значэнні супраціву зменяцца, і мост будзе вырабляць адпаведны незбалансаваны выхад. Падкладкі (або дыяфрагмы), якія выкарыстоўваюцца ў якасці п'езарэзістыўных датчыкаў, у асноўным складаюцца з крамянёвых і германіевых пласцін. Крамянёвыя п'езарэзістыўныя датчыкі, вырабленыя з крамянёвых пласцін як адчувальных матэрыялаў, прыцягваюць усё большую ўвагу, асабліва найбольш шырока выкарыстоўваюцца цвёрдацельныя п'езарэзістыўныя датчыкі для вымярэння ціску і хуткасці.