Структура п'езарэзістычнага датчыка

У гэтым датчыку рэзістарная паласа інтэгравана на манакрышталічную крэмнійную дыяфрагму шляхам інтэграцыйнага працэсу, каб зрабіць крэмніевую п'езарэзістычны чып, а перыферыя гэтага чыпа фіксуецца ў абалонку, і выводзяцца вядучыя электроды. П'езарэзістычны датчык ціску, таксама вядомы як датчык цвёрдацельнага ціску, адрозніваецца ад датчыка клею, які павінен адчуць вонкавую сілу ўскосна праз эластычныя адчувальныя элементы, але непасрэдна адчувае вымяраецца ціск праз дыяфрагму крэмнію.

Адзін з бакоў дыяфрагмы крэмнію-паражніну высокага ціску, які мае зносіны з вымераным ціскам, а другі бок-паражніну нізкага ціску, які мае зносіны з атмасферай. Звычайна дыяфрагма крэмнію распрацавана ў выглядзе круга з нерухомай перыферыяй, а стаўленне дыяметра да таўшчыні складае каля 20 ~ 60. Чатыры P -палоскі ўстойлівасці да прымешнікаў рассеяны лакальна на круглай дыяфрагме крэмнію і злучаюцца ў поўную мост, дзве з якіх знаходзяцца ў зоне сціску і двух іншых знаходзяцца ў зоне напружанага стрэсу, якія з'яўляюцца сіметычнымі ў залежнасці ад цэнтральнай кармы.

Акрамя таго, ёсць таксама квадратны крэмнійны дыяфрагма і датчык крэмнію. Сіліконавая цыліндрычны датчык таксама выраблены з рэзістыўных палос шляхам дыфузіі ў пэўным кірунку крышталічнай плоскасці крэмнійнага цыліндра, а дзве палоскі ўстойлівасці да напружання і дзве рэзістыўныя стрэс -стрэс утвараюць поўны мост.

П'езарэзістычны датчык - гэта прылада, зробленае дыфузійным супрацівам на субстраце паўправадніковага матэрыялу ў адпаведнасці з п'езарэзістычным эфектам паўправадніковага матэрыялу. Яго субстрат можна непасрэдна выкарыстоўваць у якасці вымяральнага датчыка, а ў супраціве дыфузіі падключаецца ў падкладцы ў выглядзе моста.

Калі субстрат будзе дэфармаваны знешняй сілай, значэнні супраціву будуць мяняцца, а мост будзе вырабляць адпаведны незбалансаваны выхад. Субстраты (або дыяфрагмы), якія выкарыстоўваюцца ў якасці п'езарэзістычных датчыкаў, у асноўным пласціны крэмнію і германію. Крэмніевыя п'езарэзістычныя датчыкі, зробленыя з крамянёвых пласцін, як адчувальныя матэрыялы, прыцягваюць усё больш увагі, асабліва цвёрдацельныя п'езарэзістычныя датчыкі для вымярэння ціску і хуткасці з'яўляюцца найбольш шырока выкарыстоўваюцца.