Дастасавальна да датчыка агульнага ціску на чыгунцы паліва 06E906051K

1. Спосаб фарміравання датчыка ціску, які ўключае:

Забяспечваючы паўправадніковы субстрат, у якім першы дыэлектрычны пласт праслойкі, першы праслойкі дыэлектрычны пласт і другі дыэлектрычны пласт праслойкі ўтвараюцца на паўправадніковым падкладцы.

Ніжняя электродная пласціна ў першым праслойцы дыэлектрычны пласт, першы ўзаемны электрод, размешчаны на тым жа пласце, што і ніжняя пласціна электрода і размешчаная асобна.

Злучальныя пласты;

Утвараючы ахвярны пласт над ніжняй палярнай пласцінай;

Утвараючы верхнюю пласціну электрода на першым праслойцы дыэлектрычны пласт, першы пласт узаемасувязі і ахвярны пласт;

Пасля фарміравання ахвярнага пласта і перад фарміраваннем верхняй пласціны, у першым пласце ўзаемасувязі

Утвараючы канаўку злучэння і запаўняючы канаўку злучэння верхняй пласцінай, каб электрычна злучыцца з першым пластом узаемасувязі; Альбо,

Пасля фарміравання верхняй пласціны электрода, у верхняй пласціне электрода ўтвараюцца канаўкі і першы пласт узаемасувязі, які, які

Утвараючы праводчы пласт, які злучае верхнюю пласціну электрода, і першы ўзаемасувязь у канаўцы злучэння;

Пасля электрычнага злучэння верхняй пласціны і першага ўзаемасувязі, выдаліўшы ахвярны пласт, утвараючы паражніну.

2. Спосаб фарміравання датчыка ціску ў адпаведнасці з п.1, у якім у першым пласце

Спосаб фарміравання ахвярнага пласта на дыэлектрычным пласце міжкласнага пласта ўключае ў сябе наступныя этапы:

Адкладанне ахвярнага матэрыяльнага пласта на першы праслойка дыэлектрычны пласт;

Запісваючы ахвярны матэрыяльны пласт, утвараючы ахвярны пласт.

3. Спосаб фарміравання датчыка ціску ў адпаведнасці з п.2, у якім выкарыстоўваюцца фоталітаграфія і гравюра.

Ахвяты матэрыяльны пласт узоруецца працэсам тручэння.

4. Спосаб фарміравання датчыка ціску ў адпаведнасці з п.3, у якім ахвярны пласт

Матэрыял аморфны вуглярод або германій.

5. Спосаб фарміравання датчыка ціску ў адпаведнасці з п. 4, у якім ахвярны пласт

Матэрыял аморфны вуглярод;

Праграмныя газы, якія выкарыстоўваюцца ў працэсе тручэння ахвярнага матэрыяльнага пласта, ўключаюць O2, CO, N2 і AR;

Параметры ў працэсе тручэння пласта ахвярнага матэрыялу: дыяпазон патоку O2 складае 18 SCCM ~ 22 SCCM, а хуткасць патоку CO складае 10%.

Хуткасць патоку складае ад 90 SCCM да 110 SCCM, хуткасць патоку N2 складае ад 90 SCCM да 110 SCCM, а хуткасць патоку AR.

Дыяпазон складае 90 SCCM ~ 110 SCCM, дыяпазон ціску складае 90 мт ~ 110 мт, а магутнасць зрушэння - гэта

540W ～ 660W。