Дастасавальна да датчыка ціску ў агульнай рампе паліва Passat 06E906051K

1. Спосаб фарміравання датчыка ціску, які ўключае:

Забеспячэнне паўправадніковай падкладкі, у якой першы міжслаёвы дыэлектрычны пласт, першы міжслаёвы дыэлектрычны пласт і другі міжслаёвы дыэлектрычны пласт утвораны на паўправадніковай падкладцы.

Ніжняя электродная пласціна ў першым міжслойным дыэлектрычным слоі, першы ўзаемны электрод, размешчаны на тым жа пласце, што і ніжняя электродная пласціна, і размешчаны адзін ад аднаго.

Злучальныя пласты;

Фарміраванне ахвярнага пласта над ніжняй палярнай пласцінай;

Фарміраванне верхняй электроднай пласціны на першым міжслойным дыэлектрычным слоі, першым злучальным слоі і ахвярным слоі;

Пасля фарміравання ахвярнага пласта і перад фарміраваннем верхняй пласціны ў першым злучальным слоі

Фарміраванне злучальнай канаўкі і запаўненне злучальнай канаўкі верхняй пласцінай для электрычнага злучэння з першым злучальным пластом; ці,

Пасля фарміравання верхняй электроднай пласціны ў верхняй электроднай пласціне і першым злучальным пласце ўтвараюцца злучальныя пазы, якія

Фарміраванне токаправоднага пласта, які злучае верхнюю электродную пласціну і першы злучальны пласт у злучальнай канаўцы;

Пасля электрычнага злучэння верхняй пласціны і першага злучальнага пласта, выдаленне ахвярнага пласта для адукацыі паражніны.

2. Спосаб фарміравання датчыка ціску па п.1, у якім у першым слоі

Спосаб фарміравання ахвярнага пласта на міжслойным дыэлектрычным пласце ўключае наступныя этапы:

Нанясенне пласта ахвярнага матэрыялу на першы міжслойны дыэлектрычны пласт;

Нанясенне малюнка на пласт ахвярнага матэрыялу для фарміравання ахвярнага пласта.

3. Спосаб фарміравання датчыка ціску па п.2, які адрозніваецца тым, што выкарыстоўваюцца фоталітаграфія і гравіроўка.

Пласт ахвярнага матэрыялу ўзорны працэсам тручэння.

4. Спосаб фарміравання датчыка ціску па п.3, у якім ахвярны пласт

Матэрыял - аморфны вуглярод або германій.

5. Спосаб фарміравання датчыка ціску па п. 4, які адрозніваецца тым, што ахвярны пласт

Матэрыял - аморфны вуглярод;

Газы для тручэння, якія выкарыстоўваюцца ў працэсе тручэння пласта ахвярнага матэрыялу, уключаюць O2, CO, N2 і Ar;

Параметры ў працэсе тручэння пласта ахвярнага матэрыялу: дыяпазон патоку O2 складае 18 SCCM ~ 22 SCCM, а расход CO складае 10%.

Расход вагаецца ад 90 SCCM да 110 SCCM, расход N2 - ад 90 SCCM да 110 SCCM, а расход Ar.

Дыяпазон 90 SCCM ~ 110 SCCM, дыяпазон ціску 90 ~ 110 мтор, а магутнасць зрушэння роўная

540 ~ 660 Вт.