Датчык ціску рухавіка 2CP3-68 1946725 для экскаватара Carter

Спосаб падрыхтоўкі датчыка ціску, які ўключае наступныя этапы:

S1, які забяспечвае пласціну задняй паверхняй і пярэдняй паверхняй; Фарміраванне п'езарэзістыўнай паласы і моцна легаванай кантактнай вобласці на пярэдняй паверхні пласціны; Фарміраванне глыбокай паражніны пад ціскам шляхам тручэння тыльнай паверхні пласціны;

S2, склейванне апорнага ліста на адваротным баку пласціны;

S3, выраб свінцовых адтулін і металічных правадоў на пярэднім баку пласціны і злучэнне п'езарэзістыўных палос для фарміравання моста Уітстона;

S4, нанясенне і фарміраванне пасіўнага пласта на пярэдняй паверхні пласціны і адкрыццё часткі пасіўнага пласта для фарміравання металічнай пляцоўкі. 2. Спосаб вытворчасці датчыка ціску па п. 1, у якім S1, у прыватнасці, уключае наступныя этапы: S11: забеспячэнне пласціны задняй паверхняй і пярэдняй паверхняй і вызначэнне таўшчыні адчувальнай да ціску плёнкі на пласціне; S12: іонная імплантацыя выкарыстоўваецца на пярэдняй паверхні пласціны, п'езарэзістыўныя палоскі вырабляюцца ў працэсе высокатэмпературнай дыфузіі, а кантактныя вобласці моцна легіраваныя; S13: нанясенне і фарміраванне ахоўнага пласта на пярэдняй паверхні пласціны; S14: тручэнне і фарміраванне глыбокай паражніны на адваротным баку пласціны для фарміравання адчувальнай да ціску плёнкі. 3. Спосаб вырабу датчыка ціску па п.1, у якім пласціна ўяўляе сабой КНІ.

У 1962 г. Tufte і соавт. упершыню вырабіла п'езарэзістыўны датчык ціску з дыфузнымі крэмніевымі п'езарэзістыўнымі палоскамі і крамянёвай плёнкавай структурай, а таксама пачала даследаванні п'езарэзістыўнага датчыка ціску. У канцы 1960-х і пачатку 1970-х гадоў з'яўленне трох тэхналогій, а менавіта тэхналогіі анізатропнага тручэння крэмнію, тэхналогіі іоннай імплантацыі і тэхналогіі аноднага злучэння, прынесла вялікія змены ў датчык ціску, што адыграла важную ролю ў паляпшэнні прадукцыйнасці датчыка ціску. . З 1980-х гадоў з далейшым развіццём тэхналогій мікраапрацоўкі, такіх як анізатропнае тручэнне, літаграфія, дыфузійнае легіраванне, іонная імплантацыя, склейванне і нанясенне пакрыццяў, памер датчыка ціску бесперапынна памяншаўся, адчувальнасць паляпшалася, а выхад быў высокім і прадукцыйнасць выдатная. У той жа час распрацоўка і прымяненне новай тэхналогіі мікраапрацоўкі дазваляе дакладна кантраляваць таўшчыню плёнкі датчыка ціску.