Датчык ціску рухавіка 2CP3-68 1946725 для экскаватара Carter

Спосаб падрыхтоўкі датчыка ціску, які характарызуецца наступнымі крокамі:

S1, забяспечваючы пласціну з задняй паверхняй і пярэдняй паверхняй; Утвараючы п'езарэзістычную паласу і моцна легаваную вобласць кантакту на пярэдняй паверхні пласціны; Утвараючы глыбокую паражніну ціску шляхам тручэння задняй паверхні пласціны;

S2, злучаючы ліст апоры на задняй частцы пласціны;

S3, выраб свінцовых адтулін і металічных правадоў на пярэдняй частцы пласціны і злучаючы п'езарэзістыўнымі палоскамі, утвараючы пшанічны мост;

S4, адкладаючы і ўтвараючы пасівацыйны пласт на пярэдняй паверхні пласціны, і адкрываючы частку пасівацыйнага пласта, утвараючы металічную накладку. 2. Спосаб вытворчасці датчыка ціску ў адпаведнасці з п.1, у якім S1 спецыяльна складаецца з наступных этапаў: S11: забяспечваючы пласціну з задняй паверхняй і пярэдняй паверхняй, а таксама вызначэнне таўшчыні адчувальнай да ціску плёнкі на пласціне; S12: Іёнавая імплантацыя выкарыстоўваецца на пярэдняй паверхні пласціны, п'езарэзістычныя палоскі вырабляюцца з дапамогай працэсу дыфузіі з высокай тэмпературай, а кантактныя вобласці моцна легаты; S13: адкладанне і ўтварэнне ахоўнага пласта на пярэдняй паверхні пласціны; S14: тручэнне і ўтварэнне глыбокай паражніны ціску на задняй частцы пласціны, утвараючы плёнку, адчувальную да ціску. 3. Метад вырабу датчыка ціску ў адпаведнасці з Прэтэсцю 1, у якім пласціна складае SOI.

У 1962 годзе Tufte et al. Вырабіўся да датчыка п'езарэзістычнага ціску з дыфузным крэмніевым п'езарэзістычным палоскам і структурай крамянёвай плёнкі ўпершыню, і пачаў даследаванне датчыка п'езарэзістычнага ціску. У канцы 1960 -х і пачатку 1970 -х гадоў з'яўленне трох тэхналогій, а менавіта: тэхналогіі крэмніевага анізатропнага тручэння, тэхналогіі імплантацыі іёнаў і тэхналогіі аноднай сувязі, прынеслі вялікія змены ў датчык ціску, што адыграла важную ролю ў паляпшэнні эфектыўнасці датчыка ціску. З 1980 -х гадоў з далейшым развіццём тэхналогіі мікрамашынацыі, такіх як анізатропнае тручэнне, літаграфія, дыфузійная допінг, іённая імплантацыя, злучэнне і пакрыццё, памер датчыка ціску пастаянна памяншаецца, адчувальнасць палепшылася, і выкід высокая, а прадукцыйнасць выдатная. У той жа час распрацоўка і прымяненне новай тэхналогіі мікрамашынацыі робяць таўшчыню датчыка ціску плёнкі дакладна.