Паўправадніковыя датчыкі ціску можна падзяліць на дзве катэгорыі, адна з якіх заснавана на прынцыпе, што I-υ характарыстыкі паўправадніковага PN-пераходу (або пераходу Шоткі) змяняюцца пад уздзеяннем нагрузкі. Прадукцыйнасць гэтага адчувальнага да ціску элемента вельмі няўстойлівая і не атрымала значнага развіцця. Іншы - гэта датчык на аснове паўправадніковага п'езарэзістыўнага эфекту, які з'яўляецца асноўнай разнавіднасцю паўправадніковага датчыка ціску. Раней паўправадніковыя тензодатчики ў асноўным прымацоўваліся да пругкіх элементаў для вырабу розных прыбораў для вымярэння напружання і дэфармацыі. У 1960-я гады з развіццём тэхналогіі паўправадніковых інтэгральных схем з'явіўся паўправадніковы датчык ціску з дыфузійным рэзістарам у якасці п'езарэзістыўнага элемента. Гэты тып датчыка ціску мае простую і надзейную канструкцыю, без адносна рухомых частак, а адчувальны да ціску элемент і пругкі элемент датчыка інтэграваны, што дазваляе пазбегнуць механічнай затрымкі і паўзучасці і паляпшае прадукцыйнасць датчыка.

П'езарэзістыўны эфект паўправадніка Паўправаднік мае характарыстыку, звязаную са знешняй сілай, гэта значыць удзельнае супраціўленне (прадстаўленае сімвалам ρ) змяняецца ў залежнасці ад нагрузкі, якую ён нясе, што называецца п'езарэзістыўным эфектам. Адноснае змяненне ўдзельнага супраціўлення пад дзеяннем адзінкавага напружання называецца п'езарэзістыўным каэфіцыентам, які выражаецца сімвалам π. Выражаецца матэматычна як ρ/ρ = π σ.

Дзе σ уяўляе напружанне. Змяненне значэння супраціўлення (R/R), выкліканае супраціўленнем паўправадніка пад напругай, у асноўным вызначаецца змяненнем удзельнага супраціўлення, таму выраз п'езарэзістыўнага эфекту можна таксама запісаць як R/R=πσ.

Пад дзеяннем знешняй сілы ў паўправадніковых крышталях узнікаюць пэўныя напружанне (σ) і дэфармацыя (ε), ўзаемасувязь паміж якімі вызначаецца модулем Юнга (Y) матэрыялу, гэта значыць Y=σ/ε.

Калі п'езарэзістыўны эфект выражаецца дэфармацыяй паўправадніка, то гэта R/R=Gε.

G называецца каэфіцыентам адчувальнасці датчыка ціску, які ўяўляе адноснае змяненне значэння супраціву пры адзінкавай дэфармацыі.

П'езарэзістыўны каэфіцыент або каэфіцыент адчувальнасці - асноўны фізічны параметр паўправадніковага п'езарэзістыўнага эфекту. Адносіны паміж імі, як і адносіны паміж напружаннем і дэфармацыяй, вызначаюцца модулем Юнга матэрыялу, гэта значыць g = π y.

З-за анізатрапіі пругкасці паўправадніковых крышталяў модуль Юнга і п'езарэзістыўны каэфіцыент змяняюцца ў залежнасці ад арыентацыі крышталя. Велічыня паўправадніковага п'езарэзістыўнага эфекту таксама цесна звязана з удзельным супрацівам паўправадніка. Чым меншае ўдзельнае супраціўленне, тым меншы каэфіцыент адчувальнасці. П'езарэзістыўны эфект дыфузійнага супраціву вызначаецца арыентацыяй крышталя і канцэнтрацыяй прымешак дыфузійнага супраціву. Канцэнтрацыя прымешак у асноўным адносіцца да канцэнтрацыі прымешак на паверхні дыфузійнага пласта.